影像测量仪:具有高精度测量、非接触测量、快速测量等特点。如 ULTRA QV 404 型号,测量精度可达 E1XY=(0.25+L/1000)μm,X、Y、Z 轴采用空气轴承,能将温度变化产生的误差控制到最小限度。
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